省科技厅发布了2025年度省前沿技术研发项目立项名单，吴江开发区苏州赛伍应用技术股份有限公司的大尺寸单晶金刚石多能场辅助原子级制造工艺及装备项目成功入选。
江苏省前沿技术研发项目是江苏省为推动现代化产业体系建设而设立的一项重要科技计划，旨在超前布局前沿技术和颠覆性技术研发。本年度江苏省前沿技术研发项目聚焦国家重点任务部署和全省“10+X”未来产业体系，围绕人工智能、量子科技、未来信息、未来材料、未来健康等战略性、前瞻性、先导性方向，支持高校院所、科创企业加快培育发展新动能，形成新质生产力。此次赛伍技术携手苏州大学联合开展的项目，正是围绕大尺寸单晶金刚石超精密加工这一关键瓶颈展开攻关，致力于实现高效、低损伤、原子级精度表面制造，为我国高端光学、半导体衬底、量子计算等前沿领域提供核心工艺支撑。
当前，随着量子信息、人工智能等高新技术迅猛发展，高端射频器件、量子芯片、光电传感器等新型半导体系统对材料表面质量提出近乎极限的要求。单晶金刚石因其优异的物理性能成为理想材料，但其极高的硬度也使得传统抛光技术如机械抛光（MP）、化学机械抛光（CMP）、离子束抛光（IBP）等难以兼顾效率、精度与损伤控制，成为制约产业发展的“卡脖子”难题。该项目针对这一瓶颈，创新地引入“光催化辅助化学机械抛光”方法，通过引入光催化反应，在原子层级精准调控材料表面化学活性，将推动金刚石加工技术的跨越式发展，实现高效、高精度、低损伤的原子级抛光技术突破，为高端光学器件、半导体衬底、精密机械和量子计算等前沿领域提供核心制造技术支撑。此外，该研究有望突破现有超精密加工技术的局限，为其他超硬材料的极限加工提供新思路，促进我国在高端制造领域的技术突破，提升国际竞争力。
项目由苏州赛伍应用技术股份有限公司与苏州大学联合推进，依托企业在半导体工艺与装备开发方面的工程经验，以及高校在光电材料、超精密加工、表面表征等方面的科研积累，形成产学研深度融合的创新体系。目前，团队已成功研制出新型绿色环保抛光液，并搭建实验平台，实现金刚石材料原子级高效去除的技术突破，为后续系统验证与产业化应用奠定坚实基础。未来，该项目将持续推进工艺优化与装备开发，力争实现从技术原型到产业应用的跨越，进一步巩固江苏省在高端材料与先进制造领域的创新引领地位，为我国在全球科技竞争中掌握更多话语权贡献力量。
近年来，吴江开发区科技局通过政策引导与平台搭建，鼓励企业深耕前沿技术研发领域，集中力量突破一批关键核心技术。接下来，吴江开发区科技局也将继续着力培育行业标杆龙头企业集群，聚焦核心技术“卡脖子”问题，加速科技成果产业化，力争在关键领域实现更多突破，为吴江开发区高质量发展提供强劲动能。
